ASML brengt multibeam inspection-systeem uit voor veel betrouwbaardere en snellere chipinspectie

7 reacties

Het Nederlandse ASML heeft een nieuwe machine voor kwaliteitscontrole van computerchips op de markt gebracht, waarmee de controle van chips vele malen sneller moet gaan en uiteindelijk de controle veel betrouwbaarder moet zijn.

De eScan1000 maakt gebruik van een techniek die de fabrikant (HMI) 'multibeam inspection', of kortweg mbi noemt. Het product is de eerste generatie die gebruikmaakt van deze technologie, waarmee er met negen elektronenstralen op de te controleren wafer wordt gestraald. Zo kan de chip vóórdat hij in een package zit worden gecontroleerd op defecten.

ASML chipproductie

Doordat chips steeds kleiner worden, wordt het steeds moeilijker om met optische technieken te controleren welke chips in de wafer niet optimaal functioneren. Klaarblijkelijk weet ASML dat dit met name een probleem zal worden bij chips die kleiner zijn dan 5 nanometer. Deze machine is daarom op 5nm-productielijnen en kleiner gericht. De informatie wordt verzameld uit een reeks 'primaire' elektronenstralen en uit een aantal secundaire stralen die terugschieten nadat ze reflecteren op het waferoppervlak. Hierdoor kan de 'crosstalk' met de terugschietende elektronenstralen worden gelimiteerd tot minder dan 2%. Zo kan een uniformer beeld worden gevormd. Bovendien kan het controleproces tot 600% sneller verlopen ten opzichte van hetzelfde proces met een machine die maar één straal ter beschikking heeft.

De eScan1000 is geschikt om zowel fysieke defecten te lokaliseren als om 'voltage contrast inspection' toe te passen. Met het laatste kan worden bepaald welke chips beter zullen werken bij een gegeven voltage. Met ASML's Supernova-software kunnen problemen met een die worden opgenomen in een database, zodat ingenieurs gericht kunnen onderzoeken welke defecten er zijn gemist met optische inspecties. Eerder deze week zou de eerste inspectiemachine zijn verscheept naar een klant van ASML. Het plan is om het aantal elektronenstralen die de machine gebruikt in de toekomst verder uit te breiden.

Bron: ASML

« Vorig bericht Volgend bericht »
0
*