Cymer helpt met nieuwe lichtbron chipfabrikanten met stap naar 65 nanometer technologie

4 reacties

Cymer, een fabrikant van diep-ultraviolet lichtbronnen voor de productie van halfgeleiders, heeft zijn nieuwste vinding gepresenteerd: de XLA 105 .Volgens Cymer zullen bouwers van lithografieapparaten met de XLA 105 chipfabrikanten in staat stellen om in een hoger tempo en met lagere kosten chips onder de 65 nanometer te produceren.

De XLA 105 heeft een vermogen van 40 Watt waardoor wafers van 200 en 400 millimeter in een keer belicht kunnen worden. Tevens heeft de geproduceerde lichtbundel een zeer geringe spectrale bandbreedte waardoor het mogelijk is om kleine structuren met minder optische onderdelen in de lithografieapparatuur op een nauwkeurige manier te belichten. Zodoende worden de aanschafkosten laag gehouden

Verder kan het apparaat lichtpulsen van 70 nanoseconden en langer aan, waardoor de lichtintensiteit beperkt blijft en derhalve de levensduur van de optische onderdelen in de lithografieapparaten verlengt wordt.

Vertaald en bewerkt door: Dilbert

Bron: Cymer

« Vorig bericht Volgend bericht »
0
*